[发明专利]配向膜固化系统

权利要求书

1.一种配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，其特征在于，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。

2.如权利要求1所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述第二支撑台上支撑基板的气体为热气且均匀对所述基板加热。

3.如权利要求2所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述第一支撑台与第二支撑台的表面均设有数个均匀排列的气孔。

4.如权利要求3所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述夹持部位于所述基板上方，包括移动支架，固定于移动支架的延伸臂和设于延伸臂的卡爪，所述移动支架带动延伸臂移动实现卡爪对基板的移动。

5.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述延伸臂设有气缸，用于固定卡爪并可带动卡爪升降。

6.如权利要求3所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述配向膜固化系统还包括机械手，通过机械手将基板放置于所述承载台上。

7.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述承载台与所述第一支撑台通过移动机构实现更换位置。

8.如权利要求1所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述数个顶针可伸缩的相对承载台的表面移动。

9.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述配向膜固化系统设有支撑所述夹持部的支撑架，所述支撑架上还设置有定位卡爪的定位装置。