[发明专利]基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关

摘要

本发明提出了一种基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，旨在实现对多路信号传输的控制，同时避免“误执行”现象，并降低开关由“开态”变换为“关态”时膜桥的弹性恢复力。包括驱动电极、复合薄膜梁、基底、射频传输线和地线，射频传输线并排固定在基底的上表面；地线固定在底座两端的锚点上；复合薄膜梁由自上而下层叠的第一介质层、导电层和第二介质层复合而成，其两端固定在地线的表面，且导电层的两端与地线接触；驱动电极由并排固定在复合薄膜梁上表面的至少三个驱动电极单元组成。本发明开关响应时间短，驱动电压低，满足射频微机电开关高隔离度、低插入损耗的要求，同时具有绿色环保的特性。可用于现代无线通信领域。

主权项

1.一种基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，包括压电驱动电极(1)、复合薄膜梁(2)、基底(3)、射频传输线(4)和地线(5)，所述基底(3)纵向的两端设置有锚点；所述射频传输线(4)至少有三条，并排固定在基底(3)的上表面，用于实现多种信号的传输；所述地线(5)固定在基底(3)两端的锚点上；所述复合薄膜梁(2)由自上而下层叠的第一介质层(21)、导电层(22)和第二介质层(23)复合而成，其两端固定在地线(5)的表面，且导电层(22)的两端与地线(5)接触；所述压电驱动电极(1)由并排固定在复合薄膜梁(2)上表面的至少三个驱动电极单元组成；所述射频传输线(4)和导电层(22)均采用二维单层碳原子材料；所述介质层(21)采用形状记忆聚合物。