[发明专利]基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关有效
| 申请号： | 201710568552.6 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107293449B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 田文超;李平;时婧 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 韦全生;王品华 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 可变 弹性模量 复合 薄膜 射频 微机 开关 | ||
1.一种基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，包括压电驱动电极(1)、复合薄膜梁(2)、基底(3)、射频传输线(4)和地线(5)，所述基底(3)纵向的两端设置有锚点；所述射频传输线(4)至少有三条，并排固定在基底(3)的上表面，用于实现多种信号的传输；所述地线(5)固定在基底(3)两端的锚点上；所述复合薄膜梁(2)由自上而下层叠的第一介质层(21)、导电层(22)和第二介质层(23)复合而成，其两端固定在地线(5)的表面，且导电层(22)的两端与地线(5)接触；所述压电驱动电极(1)由并排固定在复合薄膜梁(2)上表面的至少三个驱动电极单元组成；所述射频传输线(4)和导电层(22)均采用二维单层碳原子材料；所述介质层(21)采用形状记忆聚合物。
2.根据权利要求1所述基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，所述复合薄膜梁(2)，其纵向中轴线与基底(3)的纵向中轴线重合。
3.根据权利要求1所述基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，所述并排固定在复合薄膜梁(2)上表面的至少三个驱动电极单元，驱动电极单元采用钛酸铋钠基无铅压电陶瓷材料，且相邻驱动电极单元之间的距离相等。
4.根据权利要求1所述基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，所述射频传输线(4)，采用石墨烯材料，且与基底(3)的纵向中轴线垂直。
5.根据权利要求1所述基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，其特征在于，所述导电层(22)，采用石墨烯材料。
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