[发明专利]一种多级高真空干泵

摘要

本发明涉及一种多级高真空干泵，包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；各级定子由内向外包括涡轮级定子，复合定子一，复合定子二和旋涡级定子，分别与所述转子组装体各部分对应设置；底座固定于各级定子与转子组装体下方，电机固定于所述底座，外壳固定连接于旋涡级定子与底座的外侧。本发明有效提高干泵抽气速率，降低级间返流与泄露，在筒式牵引级外侧设置了侧槽式旋涡级，降低了旋涡级抽气通道加工难度，同时利用旋涡级叶片高速旋转对气体的搅动作用，保证了高真空干泵可以直排大气。

主权项

1.一种多级高真空干泵，其特征在于，其包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，所述转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；所述复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；所述各级定子由内向外包括涡轮级定子、复合定子一、复合定子二和旋涡级定子，并分别与所述转子组装体的涡轮级转子、盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子对应设置；所述底座固定于所述各级定子与转子组装体下方，所述电机固定于所述底座上，所述外壳固定连接于所述旋涡级定子与所述底座的外侧，所述外壳一侧设有排气口，所述涡轮级转子的上方设有入口；其中，所述盘型牵引级转子包括固定连接的梯形台和圆盘，所述圆盘的上表面开设有形状为圆弧线或阿基米德螺旋线的牵引风流槽，所述盘型牵引级转子通过中间设置的通孔套在所述主轴上；所述筒式牵引级转子为光面圆套筒，其内侧下端固定连接所述圆盘，所述光面圆套筒的外侧下端固定连接于所述旋涡级转子的内侧下端；所述旋涡级转子为圆筒形，其外侧壁由上至下设有若干个沿轴向向下逐渐变小的凸环，凸环上伸出环状渐薄肋壁，所述肋壁上开有多个第二叶片，所述第二叶片间相互平行，所述第二叶片为矩形或弓形；所述的旋涡级定子为多层圆环，每个圆环上表面或下表面或上下表面沿周向的至少一部分开设有环状槽，沿周向的剩余部分设置有凸台气流阻挡块，所述凸台气流阻挡块的第一侧开设有沿圆环厚度方向贯通的气体通道，每一个圆环的气体通道均位于相应凸台气流阻挡块的第一侧，相邻圆环中，下一级圆环的凸台气流阻挡块位于上一级圆环的气体通道的第一侧，所述相邻圆环的环状槽对向配合形成的槽口与所述凸环相互适配，所述凸环插入所述环状槽配合形成的槽口内，所述槽口与所述凸环之间有缝隙，所述环状槽的槽内空腔设有第三叶片。