[发明专利]一种多级高真空干泵

权利要求书

1.一种多级高真空干泵，其特征在于，其包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，所述转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；所述复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；所述各级定子由内向外包括涡轮级定子、复合定子一、复合定子二和旋涡级定子，并分别与所述转子组装体的涡轮级转子、盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子对应设置；所述底座固定于所述各级定子与转子组装体下方，所述电机固定于所述底座上，所述外壳固定连接于所述旋涡级定子与所述底座的外侧，所述外壳一侧设有排气口，所述涡轮级转子的上方设有入口；

其中，所述盘型牵引级转子包括固定连接的梯形台和圆盘，所述圆盘的上表面开设有形状为圆弧线或阿基米德螺旋线的牵引风流槽，所述盘型牵引级转子通过中间设置的通孔套在所述主轴上；

所述筒式牵引级转子为光面圆套筒，其内侧下端固定连接所述圆盘，所述光面圆套筒的外侧下端固定连接于所述旋涡级转子的内侧下端；

所述旋涡级转子为圆筒形，其外侧壁由上至下设有若干个沿轴向向下逐渐变小的凸环，凸环上伸出环状渐薄肋壁，所述肋壁上开有多个第二叶片，所述第二叶片间相互平行，所述第二叶片为矩形或弓形；

所述的旋涡级定子为多层圆环，每个圆环上表面或下表面或上下表面沿周向的至少一部分开设有环状槽，沿周向的剩余部分设置有凸台气流阻挡块，所述凸台气流阻挡块的第一侧开设有沿圆环厚度方向贯通的气体通道，每一个圆环的气体通道均位于相应凸台气流阻挡块的第一侧，相邻圆环中，下一级圆环的凸台气流阻挡块位于上一级圆环的气体通道的第一侧，所述相邻圆环的环状槽对向配合形成的槽口与所述凸环相互适配，所述凸环插入所述环状槽配合形成的槽口内，所述槽口与所述凸环之间有缝隙，所述环状槽的槽内空腔设有第三叶片。

2.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述涡轮级转子为闭式叶片层状分体结构，每一层设有沿着圆周方向排列的多个第一叶片，所述第一叶片间相互平行，并与水平面成20°～40°夹角。

3.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述复合转子体为一体合成或分体设置，所述分体设置时，所述光面圆套筒的内侧壁底端设有与所述圆盘嵌合的槽，所述光面圆套筒的外侧壁下端设有卡环，所述旋涡级转子的圆筒形内侧底部设有卡槽，所述卡环与所述卡槽相互适配连接。

4.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，涡轮级定子包括多个间隔环和对应的多个单级涡轮定子，每个所述间隔环固定于所述单级涡轮定子的外侧，所述单级涡轮定子设有沿着圆周方向排列多个第三叶片，所述第三叶片间相互平行，并与水平面成20°～40°夹角，所述单级涡轮定子的数量比所述涡轮级转子的级数少一。

5.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述复合定子一包括固定连接的盘型牵引级定子和第一级筒式牵引级定子，其中，所述盘型牵引级定子为光面的圆盘，该圆盘中心设有便于所述主轴和所述复合转子体安装的通孔；所述第一级筒式牵引级定子为圆套筒，所述圆套筒的表面设有螺旋槽，所述螺旋槽为阿基米德螺旋线或圆弧线，所述复合定子一与所述涡轮级定子连接。

6.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述的复合定子二为圆套筒结构，所述圆套筒的表面开设有螺旋槽，所述螺旋槽为阿基米德螺旋线或圆弧线，所述复合定子二与所述复合定子一固定连接。

7.如权利要求1所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述高真空干泵还包括水冷座，所述水冷座设于所述转子组装体与底座之间，所述水冷座底面设有涡状沟槽。

8.如权利要求1-7中任一项所述的多级高真空干泵，其特征在于，所述多级高真空干泵的入口处设有过滤网；所述底座的下端外侧设有散热片。