[发明专利]一种柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法有效
| 申请号： | 201710564097.2 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107170883B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄文欢;马养民;张亚男;殷政;康祎璠;刘潼 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法，该方法如下：将双(乙酰丙酮基)乙氧基异丙氧基钛酸酯、乙酰丙酮按照1：1的摩尔比例溶解在乙二醇甲醚混合，获得钛离子浓度为0.5mol/L的前驱溶液。将该溶液通过提拉法涂敷在柔性的PET/ITO基底上，经过365nm紫外辐照，乙醇溶洗获得TiO2凝胶膜微阵列后，进一步在150℃采用254nm和185nm的紫外辐照3‑5小时，进一步通过Pt电极制备，既可获得具有良好保持特性和循环特性的柔性PET/ITO/TiO2存储器阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 tio2 存储器 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性TiO2阻变存储器的制备方法，其特征在于，采用提拉法将钛离子前驱溶液涂敷在柔性的PET/ITO基底上在其表面形成TiO2凝胶膜，然后对PET/ITO/TiO2依次经过高压汞灯下辐照和低压汞灯下辐照获得非晶态的TiO2薄膜阵列，最后在PET/ITO/TiO2阵列上沉积Pt电极，获得具有良好保持特性和循环特性的柔性PET/ITO/TiO2存储器阵列。
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