[发明专利]基板分割装置及基板分割方法在审
| 申请号： | 201710560358.3 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107651829A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 岩坪佑磨;三浦善孝;田端淳 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 袁波,刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板分割装置及基板分割方法，除去端部材料而不损伤要露出的面。基板分割装置具有工作台(2)、按压装置(1)和喷气装置(3)。工作台(2)支承贴合基板(G)。按压装置(1)通过从第1基板(G1)侧按压端部从而沿刻划线(S)分割端部材料(GL)。喷气装置(3)通过产生气流(FL)从而使端部材料(GL)从第1基板(G1)的主体部剥离并使其移动。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板分割装置，其是具有第1基板和第2基板的贴合基板的分割装置，所述第1基板的表面形成有用于切掉端部的刻划线，所述第2基板贴合在所述第1基板的背面，所述基板分割装置具有：工作台，其支承所述贴合基板；按压装置，其通过从所述第1基板侧按压所述端部，从而沿所述刻划线分割所述端部；以及喷气装置，其通过产生气流，从而将所述端部从所述第1基板的主体部剥离并使所述端部移动。
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