[发明专利]基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法在审
申请号: | 201710559048.X | 申请日: | 2017-07-11 |
公开(公告)号: | CN107388958A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 陈楚怡;谢仲业;周毅;唐燕 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法,包括当投影装置中无光栅时,摄像装置获取一帧灰度图,在其他条件不变的情况下,在投影装置中加入光栅,摄像装置获取一帧条纹变形的结构光场图。分别对两幅图进行Fourier变换,将得到的两频谱式归一化相减后得到基频分量,将分离得到的两部分基频分量分别频移至正确位置,再将基频与零频分量以一定权重进行频谱叠加,从而得到完整的频谱信息,最终恢复得到二维超分辨图像检测结果。本发明该方法在提高了分辨力的同时,在测量中采用一帧灰度图来消除频谱混叠,实现零频分量与基频分量的分离,提高了测量效率,采集图像时不需要相移装置,简化了测量系统。 | ||
搜索关键词: | 基于 结构 二维 分辨 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:当投影装置中无光栅时,摄像装置获取一帧灰度图,在其他条件不变的情况下,在投影装置中加入光栅,摄像装置获取一帧条纹变形的结构光场图;分别对两幅图进行Fourier变换,将得到的两频谱式归一化相减后得到基频分量,将分离得到的两部分基频分量分别频移至正确位置,再将基频与零频分量以一定权重进行频谱叠加,从而得到完整的频谱信息,最终恢复得到二维超分辨图像检测结果。
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