[发明专利]基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法在审
| 申请号: | 201710559048.X | 申请日: | 2017-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN107388958A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
| 发明(设计)人: | 陈楚怡;谢仲业;周毅;唐燕 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 结构 二维 分辨 检测 方法 | ||
1.一种基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:当投影装置中无光栅时,摄像装置获取一帧灰度图,在其他条件不变的情况下,在投影装置中加入光栅,摄像装置获取一帧条纹变形的结构光场图;分别对两幅图进行Fourier变换,将得到的两频谱式归一化相减后得到基频分量,将分离得到的两部分基频分量分别频移至正确位置,再将基频与零频分量以一定权重进行频谱叠加,从而得到完整的频谱信息,最终恢复得到二维超分辨图像检测结果。
2.根据权利要求1所述的一种基于结构光微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:利用FTP测量系统,系统包括投影装置,摄像装置,光栅和参考面,通过DMD产生光栅条纹,CCD获取图像,利用结构光条纹受待测物体高度调制发生形变的特性,得到两幅光场图。
3.根据权利要求1所述的一种基于结构光微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:对CCD采集到的两幅图的光场公式进行二维Fourier变换后可以看出,两频谱式的零频分量只相差一个常数的比例因子,对两式归一化后相减,可得到基频分量,从而使基频分量与零频分量分离。
4.根据权利要求1所述的一种基于结构光微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:基频与零频分离后,在频谱移动前还需对基频的两部分再进行分离,之后将对称的两部分基频分别移动,最后与零频分量叠加。
5.根据权利要求1所述的一种基于结构光微纳结构二维超分辨检测方法,其特征是:传统显微成像系统最终接收到的图像受显微镜数值孔径限制,在频域丢失高频信息,本方法利用结构光将本不在接收频率范围内的高频信息调制到低频,通过频谱分离,频谱移动,频谱叠加三个步骤得到了完整的频谱信息。
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