[发明专利]光学抛光装置及系统

摘要

本发明公开一种光学抛光装置及系统，涉及高精度抛光技术领域，以解决现有的抛光装置无法适用于多种不同产品抛光作业的技术问题。本发明所述的光学抛光装置，包括：研磨盘机构，研磨盘机构包括上下对应设置且可更换的上、下盘结构；上盘结构包括：上盘、上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸且可上下移动地设置于安装盘的底部；下盘结构包括：基座、行星齿轮系和固定件；固定件能够沿其轴线上下移动地设置于基座上，固定件上设置有多个用于固定打磨体的固定柱；行星齿轮系可拆卸地安装在基座上，且行星齿轮系包括内太阳轮、外太阳轮和多个行星轮。

主权项

一种光学抛光装置，其特征在于，包括：研磨盘机构，所述研磨盘机构包括上下对应设置的上盘结构和下盘结构，且所述上盘结构和所述下盘结构均为可更换设置；所述上盘结构包括：上盘、上盘调节件和安装盘；所述上盘通过多个所述上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，且所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上；所述下盘结构包括：基座、行星齿轮系和固定件；所述固定件能够沿其轴线上下移动地设置于所述基座上，所述固定件上设置有多个用于固定打磨体的固定柱；所述行星齿轮系安装在所述基座上，所述行星齿轮系包括内太阳轮、外太阳轮和多个行星轮，且所述内太阳轮、所述外太阳轮和多个所述行星轮均与所述基座可拆卸连接。