[发明专利]光学抛光装置及系统

权利要求书

1.一种光学抛光装置，其特征在于，包括：研磨盘机构，所述研磨盘机构包括上下对应设置的上盘结构和下盘结构，且所述上盘结构和所述下盘结构均为可更换设置；

所述上盘结构包括：上盘、上盘调节件和安装盘；所述上盘通过多个所述上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，且所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上；

所述下盘结构包括：基座、行星齿轮系和固定件；所述固定件能够沿其轴线上下移动地设置于所述基座上，所述固定件上设置有多个用于固定打磨体的固定柱；所述行星齿轮系安装在所述基座上，所述行星齿轮系包括内太阳轮、外太阳轮和多个行星轮，且所述内太阳轮、所述外太阳轮和多个所述行星轮均与所述基座可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的光学抛光装置，其特征在于，所述外太阳轮与所述基座卡接；所述基座上设置有卡槽，所述外太阳轮对应于所述卡槽的位置设置有卡齿。

3.根据权利要求1或2所述的光学抛光装置，其特征在于，所述行星齿轮系水平放置时，所述基座上设置有多个轴线垂直的螺纹孔，所述外太阳轮对应于所述螺纹孔的位置设置有通孔；

或，所述行星齿轮系水平放置时，所述基座的侧壁上设置有多个轴线水平的螺纹孔，所述外太阳轮对应于所述螺纹孔的位置设置有通孔。

4.根据权利要求1所述的光学抛光装置，其特征在于，所述固定柱包括：固定盘和柱体，所述固定盘设置于所述固定件上，所述固定盘和所述柱体之间设置有垫片。

5.根据权利要求4所述的光学抛光装置，其特征在于，所述固定件上设置有中心件，所述中心件和所述行星齿轮系之间设置有所述打磨体，且所述打磨体上放置有能够转动的抛光件。

6.根据权利要求5所述的光学抛光装置，其特征在于，所述安装盘上设置有连接件，驱动装置通过所述连接件带动所述安装盘上下移动。

7.根据权利要求5或6所述的光学抛光装置，其特征在于，所述上盘调节件为三个，且三个所述上盘调节件沿所述上盘的周向均匀分布。

8.根据权利要求7所述的光学抛光装置，其特征在于，所述上盘调节件为调节螺栓或螺杆。

9.根据权利要求5所述的光学抛光装置，其特征在于，所述上盘上设置有通孔，所述安装盘上设置有穿过所述通孔的第一卡接件；

所述中心件上设置有与所述第一卡接件对接的第二卡接件。

10.一种光学抛光系统，其特征在于，包括：如上述权利要求1－9中任一项所述的光学抛光装置；以及与所述上盘结构连通的冷却装置。