[发明专利]一种内置旋转阴极结构

摘要

本发明公开了一种内置旋转阴极结构，包括阴极门，所述阴极门的一侧下端设置有电机座，电机座的上端设置有靶电机，靶电机固定安装在电机座上，电机座的下端设置有同步轮；所述阴极门的另一侧设置有下端座和上端座；所述下端座的上端设置有下端盖、靶管和上端盖，同步轮与下端盖固定连接；所述下端盖的下端设置有磁流体。本内置旋转阴极结构的靶管采用旋转设计，使得靶面具有自清洁的作用，靶材的利用率高，磁极靴细长，提高了沉积膜厚的均匀性；采用磁流体的密封设计，适用于批量化生产的生产工艺，有利于大面积生产线真空腔体的模块化设计；整体磁极靴的长度可以根据工艺增加，阴极门结构通用性好，靶材利用率高和工艺稳定性强。

主权项

1.一种内置旋转阴极结构，包括阴极门(1)，其特征在于：所述阴极门(1)的一侧下端设置有电机座(2)，电机座(2)通过螺栓固定安装在阴极门(1)上；所述电机座(2)的上端设置有靶电机(3)，靶电机(3)固定安装在电机座(2)上，电机座(2)的下端设置有同步轮(4)；所述阴极门(1)的另一侧设置有下端座(5)和上端座(6)，下端座(5)与阴极门(1)间设置有绝缘座(7)，下端座(5)通过绝缘座(7)与阴极门(1)由紧固螺丝紧固连接；所述上端座(6)的侧端设置有固定座(8)，固定座(8)固定焊接在阴极门(1)的上侧端，固定座(8)的上端面设置有固定销(9)，上端座(6)通过固定销(9)固定安装在固定座(8)的上端；所述下端座(5)的上端设置有下端盖(10)、靶管(11)和上端盖(12)，同步轮(4)与下端盖(10)紧固连接，下端盖(10)和上端盖(12)与靶管(11)采用密封紧固连接；所述下端盖(10)的下端设置有磁流体(13)，磁流体(13)的下端设置有紫铜同步轮(14)，紫铜同步轮(14)固定接触安装在磁流体(13)的下端；所述紫铜同步轮(14)的侧端设置有碳刷(15)，碳刷(15)通过导线与靶管(11)电连接；所述靶管(11)的侧端设置有靶材(16)；靶材(16)焊接在靶管(11)上；所述上端座(6)的下端设置有上轴承(17)，上端座(6)紧固安装在上轴承(17)上，上端盖(12)紧固安装在上轴承(17)的内环上；所述上轴承(17)的下端设置有进水管(18)，进水管(18)的上端设置有水管套(19)，水管套(19)固定套接在进水管(18)的上端；所述下端盖(10)的上端设置有进出水管(20)，进出水管(20)的侧端设置有分水器(21)，分水器(21)的一端与进出水管(20)连接，分水器(21)另一端与进水管(18)连接；所述进水管(18)的侧端设置有磁极靴(22)，磁极靴(22)的侧端设置有磁极锁(23)，磁极靴(22)通过磁极锁(23)紧固安装在进水管(18)上；所述磁极靴(22)的外侧端设置有磁极盖(24)，磁极靴(22)的侧端设置有S极永磁体A(25)、N极永磁铁(26)和S极永磁体B(27)，S极永磁体A(25)、N极永磁铁(26)和S极永磁体B(27)由磁极盖(24)与磁极靴(22)密封紧固连接封在由磁极盖(24)与磁极靴(22)构成的真空腔体内。