[发明专利]麦克风的制造方法有效
| 申请号： | 201710511741.X | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN109151690B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王明军;汪新学 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张海强 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种麦克风及其制造方法，涉及半导体技术领域。其中，所述方法包括：提供衬底；形成从所述衬底的表面延伸到所述衬底中的环形开口；在所述环形开口中形成隔离材料，以形成环形隔离部；在形成所述环形隔离部后的衬底之上形成绝缘层；在所述绝缘层上形成前侧器件；以及以所述环形隔离部和所述绝缘层作为蚀刻停止层对所述衬底的底面进行刻蚀，从而形成背孔。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风的制造方法，其特征在于，包括：提供衬底；形成从所述衬底的表面延伸到所述衬底中的环形开口；在所述环形开口中形成隔离材料，以形成环形隔离部；在形成所述环形隔离部后的衬底之上形成绝缘层；在所述绝缘层上形成前侧器件；以及以所述环形隔离部和所述绝缘层作为蚀刻停止层对所述衬底的底面进行刻蚀，从而形成背孔。
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