[发明专利]一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法在审
| 申请号： | 201710504781.1 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107460444A | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 万浩;司乃潮;刘光磊;倪凯;葛俊杰 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于表面改性技术领域，涉及一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法。将清洗过的合金固定于靶盘上并放入能够进行He+离子注入的真空腔内，抽真空使真空度达到10‑4Pa级；对合金进行He+离子注入处理，离子束与合金间入射角的选取范围为85°‑90°，束流大小为1mA‑50μA，能量为10keV‑300keV，注入剂量选取范围为1014cm‑2‑1018cm‑2的He+进行离子注入处理。利用入射高能He+离子增加Ni合金的表面能来增加合金氧化过程中表面氧化物的形核率，增加合金深层抗氧化元素Cr向合金表面进行短途扩散的通道，进而提高合金的高温抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 提高 ni 合金 高温 氧化 性能 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法，利用入射高能He+离子增加Ni合金的表面能来增加合金氧化过程中表面氧化物的形核率，通过离子注入层中形成位错、位错胞和亚晶界，增加合金深层抗氧化元素Cr向合金表面进行短途扩散的通道，进而提高合金的高温抗氧化性能，其特征在于：将清洗过的合金固定于靶盘上并放入能够进行He+离子注入的真空腔内，抽真空使真空度达到10‑4Pa级；对合金进行He+离子注入处理，离子束与合金间入射角的选取范围为85°‑90°，束流大小为1mA‑50μA，能量为10keV‑300keV，注入剂量选取范围为1014cm‑2‑1018cm‑2的He+进行离子注入处理。
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