[发明专利]三维测量装置

摘要

本发明提供一种三维测量装置，能够实现在进行基于相移法的三维测量时测量效率的提高以及抑制测量精度的降低等。基板检查装置(10)包括运送印刷基板(1)的输送机(13)、针对印刷基板(1)从斜上方照射图案光的照明装置(14)、以及对被照射了该图案光的印刷基板(1)进行拍摄的相机(15)。作为相机(15)的拍摄元件(15b)使用将拍摄区域两分割并从分别不同的通道并行地进行来自该两个区域的输出的CCD区域传感器。并且，印刷基板(1)每被运送预定量，获取在相位按每预定量发生了变化的图案光下拍摄的四种数据。之后，基于从拍摄元件(15b)的同一通道获取的多个数据针对印刷基板(1)上的各坐标位置进行基于相移法的三维测量。

主权项

一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够对被测量物照射预定的图案光；拍摄单元，所述拍摄单元具有拍摄元件，并能够对照射所述图案光的所述被测量物进行拍摄，所述拍摄元件将预定的拍摄区域划分为多个区域，并从分别不同的通道并行地进行来自该被划分的多个区域的输出；移动单元，所述移动单元能够使所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物沿预定方向进行相对移动；数据获取单元，所述数据获取单元能够获取多个数据，所述多个数据是在从所述照射单元照射的所述图案光下按照每次所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物以预定量进行相对移动而在所述拍摄元件的所述多个区域中的同一区域拍摄的所述被测量物上的各坐标位置所涉及的多个数据；以及数据处理单元，所述数据处理单元能够基于由所述数据获取单元获取的所述多个数据并通过相移法执行所述被测量物上的各坐标位置所涉及的三维测量。