[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

照射单元，所述照射单元能够对被测量物照射预定的图案光；

拍摄单元，所述拍摄单元具有拍摄元件，并能够对照射所述图案光的所述被测量物进行拍摄，所述拍摄元件将预定的拍摄区域划分为多个区域，并从分别不同的通道并行地进行来自该被划分的多个区域的输出；

移动单元，所述移动单元能够使所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物沿预定方向进行相对移动；

数据获取单元，所述数据获取单元能够获取多个数据，所述多个数据是在从所述照射单元照射的所述图案光下按照每次所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物以预定量进行相对移动而在所述拍摄元件的所述多个区域中的同一区域拍摄的所述被测量物上的各坐标位置所涉及的多个数据；以及

数据处理单元，所述数据处理单元能够基于由所述数据获取单元获取的所述多个数据并通过相移法执行所述被测量物上的各坐标位置所涉及的三维测量。

2.如权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，

所述拍摄元件被设置为使得划分所述多个区域的划分线沿所述预定方向。

3.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

第一照射单元，所述第一照射单元能够对被测量物照射预定的图案光；

第二照射单元，所述第二照射单元能够对所述被测量物照射与所述图案光不同的第二光；

拍摄单元，所述拍摄单元具有拍摄元件，并能够对所述照射各种光的所述被测量物进行拍摄，所述拍摄元件将预定的拍摄区域划分为多个区域，并从分别不同的通道并行地进行来自该划分的多个区域的输出；

移动单元，所述移动单元能够使所述第一、第二照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物沿预定方向进行相对移动；

第一数据获取单元，所述第一数据获取单元能够获取多个数据，所述多个数据是在从所述第一照射单元照射的所述图案光下按照每次所述第一、第二照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物以预定量进行相对移动而在所述拍摄元件的所述多个区域中的第一区域拍摄的所述被测量物上的各坐标位置所涉及的多个数据；

第一数据处理单元，所述第一数据处理单元能够基于由所述第一数据获取单元获取的所述多个数据并通过相移法执行所述被测量物上的各坐标位置所涉及的三维测量；

第二数据获取单元，所述第二数据获取单元能够获取数据，所述数据是在从所述第二照射单元照射的所述第二光下、在所述拍摄元件的所述多个区域中的与所述第一区域在所述预定方向上不同的第二区域拍摄的数据；

第二数据处理单元，所述第二数据处理单元能够基于由所述第二数据获取单元获取的数据而执行预定的处理。

4.如权利要求3所述的三维测量装置，其特征在于，

所述第二照射单元被构成为，作为所述第二光能够照射光强度恒定的均匀光。

5.如权利要求3所述的三维测量装置，其特征在于，

所述第二照射单元被构成为，作为所述第二光能够照射预定的图案光。

6.如权利要求1至5中任一项所述的三维测量装置，其特征在于，

所述被测量物是被印刷了焊膏的印刷基板、或者是被形成了焊料凸起的晶圆基板。