[发明专利]超高纯四氯化碳的制备方法有效
| 申请号： | 201710492709.1 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107353178B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐耀中;万欣;刘宇;董礼;许从应;林俊元;潘兴华;常华 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C17/38 | 分类号： | C07C17/38;C07C19/041 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了超高纯四氯化碳的制备方法，首先对原料除水处理，再通过精馏操作，去除绝大部分的有机杂质和无机杂质；再通过采用分子筛和活性炭吸附，将极其微量的有机杂质吸附；再经过滤，分离掉分子筛和活性炭，得到不含有机杂质的滤液；最后经蒸馏，去除无机杂质，最终得到高纯的四氯化碳。经GC检测，该制备方法可以除去四氯化碳中的有机杂质，并且通过ICP‑OES的全元素检测，所有的无机杂质含量＜1ppm，该制备方法获得的四氯化碳纯度高达99.9999％，满足半导体行业的原料使用要求；该制备方法成本较低，操作简单，所需人工少，适合工业化规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 四氯化碳 制备 方法 | ||
【主权项】：
超高纯四氯化碳的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1)原料的除水处理；2)无氧无水惰性气氛精馏，收集中间馏分；3)中间馏分的4A分子筛和活性炭混合吸附；4)过滤，蒸馏。
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