[发明专利]基于非对称静电屏蔽效应的自供能气体传感器及制备方法有效
| 申请号： | 201710492215.3 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107238652B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 苏元捷;王斯;刘雪燕;杨静;杜鸿飞;张秋平;谢光忠;太慧玲;杜晓松;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/60 | 分类号： | G01N27/60 |
| 代理公司： | 51232 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于非对称静电屏蔽效应的自供能气体传感器，属于传感器技术领域。本发明包括设于测试腔内部的多叶扇形结构的摩擦转子和双电级结构金属圆盘，摩擦转子靠近进气口设置在气流作用下转动与金属圆盘上电极形成接触‑分离循环，并且基于气敏薄膜吸附待测气体在双电级上产生非对称静电屏蔽效应，进而根据器件输出电压测得待测气体浓度。本发明相比现有气体传感器，无需外部供电系统，实现自发、实时监测待测气体的浓度，并且输出性能稳定，降低了由于器件本身输出不稳定造成的测量误差，另外，本发明气体传感器结构新颖、成本低廉且制备工艺简单，有利于实现商业化，为自供能气体传感器的研究提供了新的发展方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对称 静电屏蔽 效应 自供 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于非对称静电屏蔽效应的自供能气体传感器，包括测试腔(8)以及设于测试腔(8)上的进气口(5)和出气口(6)，其特征在于，测试腔(8)的内部还包括第一部件和第二部件；/n第一部件包括采用聚合物摩擦薄膜材料制成多叶扇形结构的摩擦转子(4)；所述摩擦转子(4)的多个扇形叶片的形状、尺寸均相近；/n第二部件包括单面沉积有气敏薄膜(3)的金属圆盘，金属圆盘上具有闭合环形缝隙将其分隔形成两个相互独立的环内电极(1)和环外电极(2)，其中，环内电极(1)的形状、尺寸均与摩擦转子(4)的形状、尺寸相同；/n第一部件靠近测试腔(8)上进气口(5)处设置，第一部件和第二部件通过绝缘部件固定使得摩擦转子(4)和环内电极(1)的气敏薄膜(3)面对面设置且相互隔离；在气流作用下，摩擦转子(4)的扇形叶片与金属圆盘形成靠近-分离循环，从而产生感应电荷，并且通过环内电极(1)和环外电极(2)向检测电路输出电学信号。/n
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