[发明专利]拼接靶材焊接方法在审
| 申请号： | 201710486838.X | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109112490A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种拼接靶材焊接方法，包括：提供背板和至少两块靶材籽块，以及多个耐热隔板；所述耐热隔板的厚度在靶材籽块之间的缝隙的期望宽度范围内；将所述靶材籽块和耐热隔板交错放置，靶材籽块的侧面贴合耐热隔板的板面，形成拼接式靶材；利用焊接工艺焊接所述拼接式靶材和背板，以形成背板式拼接靶材；去除耐热隔板。获得的大尺寸靶材的相邻靶材籽块的缝隙宽度为耐热隔板的厚度大小，即为期望宽度大小，借助耐热隔板能够有效的控制相邻靶材籽块的缝隙大小，容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 耐热隔板 焊接 拼接靶材 拼接式 背板 焊接工艺 大尺寸靶材 板式拼接 交错放置 期望 板面 去除 贴合 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种拼接靶材焊接方法，其特征在于，包括：提供背板和至少两块靶材籽块，以及多个耐热隔板；所述耐热隔板的厚度在靶材籽块之间的缝隙的期望宽度范围内；将所述靶材籽块和耐热隔板交错放置，靶材籽块的侧面贴合耐热隔板的板面，形成拼接式靶材；利用焊接工艺焊接所述拼接式靶材和背板，以形成背板式拼接靶材；去除耐热隔板。
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