[发明专利]传热板以及描绘装置有效
| 申请号： | 201710484203.6 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107544214B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 片冈宪一;冈泽光弘;山中吉郎 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 杨谦;胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及传热板以及描绘装置。本发明的实施方式提供一种将配置在真空中的热源可移动地载置、并且能够将热源产生的热有效地散热的传热板以及电子束描绘装置。本实施方式的传热板具备：第一传热部，传递由于在减压气氛中对从光源产生的波束进行成形或控制而在所搭载的部件中产生的热；第二传热部，设在第一传热部的周围；以及多个第三传热部，使第一传热部相对于第二传热部可动，连接在第一传热部与第二传热部之间。 | ||
| 搜索关键词： | 传热 以及 描绘 装置 | ||
【主权项】：
一种传热板，其特征在于，具备：第一传热部，传递由于在减压气氛中对从光源产生的波束进行成形或控制而在所搭载的部件中产生的热；第二传热部，设在上述第一传热部的周围；以及多个第三传热部，使上述第一传热部相对于上述第二传热部可动，连接在上述第一传热部与上述第二传热部之间。
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