[发明专利]一种光配向设备及其运动和旋转方法有效
申请号: | 201710470547.1 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN109100890B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 刘育;罗闻;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种光配向设备及其运动和旋转方法,通过采用运动装置可将照明系统沿移动出照明系统工作区域,通过旋转照明系统、第11转动臂、……、第1i转动臂、……、和第1n转动臂,实现了对线栅、滤光片及光源进行维护,进而实现了对特定照明系统的维护,通过就近移动所述所有照明系统减少了照明系统整体维护移动的距离,进而减少了相关厂房的建造体积和造价,提高了经济性。 | ||
搜索关键词: | 一种 设备 及其 运动 旋转 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光配向设备,其特征在于,包括:若干个照明系统:第1照明系统、……、第i照明系统、……、第m照明系统,m≥i≥1;所述第i照明系统包括n个用于承载元件的载物层;与若干个所述照明系统一一对应的若干个转动单元;运动装置,用于带动若干个所述照明系统沿所述运动装置的延伸方向运动;所述若干个转动单元位于所述运动装置上,所述第i照明系统与对应的第i转动单元转动连接,所述第i照明系统能够以一侧边沿为轴相对于所述运动装置旋转;所述n个载物层能够从旋转后的第i照明系统中拖/拉出或翻出。
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