[发明专利]一种光配向设备及其运动和旋转方法有效

专利信息
申请号: 201710470547.1 申请日: 2017-06-20
公开(公告)号: CN109100890B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 刘育;罗闻;朱树存 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 设备 及其 运动 旋转 方法
【权利要求书】:

1.一种光配向设备,其特征在于,包括:

若干个照明系统:第1照明系统、……、第i照明系统、……、第m照明系统,m≥i≥1;

所述第i照明系统包括n个用于承载元件的载物层;

与若干个所述照明系统一一对应的若干个转动单元;

运动装置,用于带动若干个所述照明系统沿所述运动装置的延伸方向运动;

所述若干个转动单元位于所述运动装置上,所述第i照明系统与对应的第i转动单元转动连接,所述第i照明系统能够以一侧边为轴相对于所述运动装置旋转;

所述n个载物层能够从旋转后的第i照明系统中拖/拉出或翻出;

所述第i照明系统第j载物层包括第ji固定臂、第ji转动轴体和第ji转动臂,所述第ji固定臂一端与所述第i照明系统的内壁固定连接,其另一端通过所述第ji转动轴体与所述第ji转动臂转动连接,所述第ji转动臂能够以所述第ji转动轴体为轴旋转,n≥j≥1。

2.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述载物层可以承载光源和/或滤光片和/或线栅和/或器件支撑件。

3.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,第(j-1)i转动臂旋转至极限位置时满足所述第ji转动臂的旋转空间需求。

4.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述第ji固定臂和所述第ji转动臂沿各自延伸方向的长度分别为Lji1和Lji2,第(j-1)i固定臂和第(j-1)i转动臂沿各自延伸方向的长度分别为L(j-1)i1和L(j-1)i2,Lji1≥L(j-1)i1,Lji2≤L(j-1)i2

5.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述第ji转动臂能够以所述第ji转动轴体为轴旋转0-180°。

6.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述第i照明系统能够以所述侧边为轴旋转,朝向远离所述运动装置的方向旋转0-90°。

7.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述运动装置包括导向单元。

8.如权利要求7所述的一种光配向设备,其特征在于,还包括所述若干个照明系统一一对应的若干个滑块,所述第i转动单元与对应的第i滑块固定连接,所述第i滑块能够沿所述导向单元的延伸方向滑动。

9.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,所述运动装置为直线运动装置。

10.如权利要求7或9所述的一种光配向设备,其特征在于,所述运动装置包括电机。

11.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,若干个所述照明系统的尺寸相同,将所述照明系统未相对于所述运动装置旋转时的状态定义为初始状态,初始状态下所述照明系统靠近所述运动装置的一面为底面,远离所述运动装置的一面为顶面,所述底面沿所述运动装置延伸方向的长度为L1,所述顶面与所述底面之间的距离为H,所述运动装置延伸方向的长度为L,L≥m·L1+H。

12.如权利要求1所述的一种光配向设备,其特征在于,每个所述载物层之间相互平行。

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