[发明专利]一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构

摘要

本发明公开了一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，涉及光电子技术领域。所述的探测器阵列结构包括基底、导线和叉指电极元件；导线包括行导线和列导线，所有的列导线在基底表面等间距排布，所有的行导线垂直于列导线等间距排布，行导线与列导线的交叉部分绝缘；行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件；叉指电极元件两端分别连接在行导线和列导线上。本发明实现了任意尺寸、大小的阵列，工艺可控性强，成本低操作步骤简单，可大面积制备、重复性好、开发周期短，还能利用后续电路处理动态控制任意位置单元的工作状态，具有广阔的应用前景。

主权项

一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，包括基底、导线和叉指电极元件；所述的导线包括行导线和列导线，所有的列导线在基底表面等间距排布，所有的行导线垂直于列导线等间距排布，行导线与列导线的交叉部分绝缘；行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件，叉指电极元件按导线间距以矩阵方式排列，电极两端分别连接在行导线和列导线上，每一列叉指电极的阳极都接在本列的列导线上，每一行叉指电极的阴极都接在本行的行导线上，叉指电极与所有的列导线之间的角度相同。