[发明专利]多换能器模块、含该模块的电子装置和制造该模块的方法有效
申请号: | 201710463062.X | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN108124234B | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | A·格里蒂;M·O·格西多尼 | 申请(专利权)人: | 意法半导体股份有限公司 |
主分类号: | H04R31/00 | 分类号: | H04R31/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;董典红 |
地址: | 意大利阿格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及多换能器模块、含该模块的电子装置和制造该模块的方法。一种换能器模块(11;51;61;71;81;91),包括:支撑衬底(23);帽盖(27),该帽盖安排在该支撑衬底上并且与其限定腔室(8);该腔室(8)中的压力换能器(12’);该腔室(8)中的声换能器(12”);以及处理芯片(22)或ASIC,该处理芯片或该ASIC操作性地耦合至该压力换能器(12’)以及至该声换能器(12”)。该压力换能器(12’)和该声换能器(12”)被安排在彼此顶部上以形成堆叠。 | ||
搜索关键词: | 多换能器 模块 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种换能器模块(11;51;61;71;81;91),包括:支撑衬底(23);帽盖(27),所述帽盖耦合至所述支撑衬底(23)并且与其限定腔室(8);压力换能器(12’),所述压力换能器容纳在所述腔室(8)内、具有第一敏感元件(19),所述第一敏感元件被配置成用于检测环境压力(P)并且根据所述检测到的环境压力(P)生成第一换能信号;声换能器(12”),所述声换能器容纳在所述腔室(8)内、具有第二敏感元件(2,3),所述第二敏感元件被配置成用于检测声波(S)并且根据所述检测到的声波生成第二换能信号;以及处理芯片(22),所述处理芯片至少部分地容纳在所述腔室(8)内、操作性地耦合至所述压力换能器(12’)以及至所述声换能器(12”),以用于接收所述第一和第二换能信号,其中,所述压力换能器(12’)和所述声换能器(12”)形成堆叠。
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