[发明专利]一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置在审

专利信息
申请号: 201710459529.3 申请日: 2017-06-16
公开(公告)号: CN107142516A 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: 刘伟;王岩;尚伟泽;王军磊;武志军;刘学;张全顺;张文霞 申请(专利权)人: 内蒙古中环光伏材料有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 李成运
地址: 010070 内蒙古*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明创造提供了一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置,所述热炉内设有热场结构,该热场结构包括导流筒、坩埚、固定导流筒的支撑板及控制坩埚位置的举升机构,所述液面定位装置和热场结构绝缘设置,包括设置在热炉外的控制平台、位于导流筒导流腔内的钼杆及该钼杆底端竖直向下设置的石墨针,所述石墨针底端伸出导流筒后正对坩埚内腔,所述钼杆顶部和控制平台通过耐高温导线连接,所述举升机构和控制平台电连接。本发明创造所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置,结构简单,制造成本交低,通过本装置,保证单晶硅稳定化时的液面位置一致性、可控性,同时由于本装置为自动调整,因此提高了安全性能。
搜索关键词: 一种 热炉内 用于 直拉单晶时 液面 定位 装置
【主权项】:
一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置,所述热炉内设有热场结构,该热场结构包括导流筒(2)、坩埚(9)、固定导流筒(2)的支撑板(6)及控制坩埚(9)位置的举升机构(10),其特征在于:所述液面定位装置和热场结构绝缘设置,包括设置在热炉外的控制平台、位于导流筒(2)导流腔内的钼杆(1)及该钼杆(1)底端竖直向下设置的石墨针(5),所述钼杆安装在热炉炉盖或支撑板(6)上,该钼杆(1)顶部和控制平台通过耐高温导线(7)连接,所述石墨针(5)底端伸出导流筒(2)后正对坩埚(9)内腔,所述举升机构(10)和控制平台电连接。
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