[发明专利]一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置

说明书

技术领域

本发明创造属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置。

背景技术

直拉单晶工艺流程中稳定化温度时需要确定液面的位置，目前判断液面的位置主要依赖肉眼观察确认。由于操作人员的技能及经验的差距，造成稳定化温度时液面位置偏差较大，进而影响单晶体的成活率；

另外，如果液面定位错误，轻者引起导流筒喷硅异常，严重者可能烫穿炉体、发生漏水爆炸事故。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在提出一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，以实现稳定化温度时液面位置的一致性、可控性及安全性。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，所述热炉内设有热场结构，该热场结构包括导流筒、坩埚、固定导流筒的支撑板及控制坩埚位置的举升机构，所述液面定位装置和热场结构绝缘设置，包括设置在热炉外的控制平台、位于导流筒导流腔内的钼杆及该钼杆底端竖直向下设置的石墨针，所述钼杆安装在热炉炉盖或支撑板上，该钼杆顶部和控制平台通过耐高温导线连接，所述石墨针底端伸出导流筒后正对坩埚内腔，所述举升机构和控制平台电连接。

进一步的，所述钼杆通过固定结构安装在支撑板上，该固定结构包括支撑块、瓷套和连接轴，所述支撑块固装在支撑板上，支撑块竖直方向上设有用于安装钼杆的安装孔，所述瓷套设置在该安装孔内，该瓷套顶部凸出支撑块，所述连接轴为不锈钢连接轴，该连接轴放置在瓷套上，所述钼杆顶端向上由瓷套内孔伸出后通过耐高温螺钉固装在连接轴上；

所述耐高温导线连接钼杆的一端设置在连接轴上。

进一步的，所述钼杆包括倾斜设置的本部和竖直设置的安装部，所述本部临近导流筒内侧面、且和导流筒内侧面母线平行设置，所述安装部穿过瓷套内孔后和连接轴连接。

进一步的，所述钼杆和导流筒间设有绝缘结构，所述绝缘结构包括套装在钼杆上的陶瓷支撑环，所述陶瓷支撑环底部紧贴导流筒内侧面，所述钼杆上设有防止陶瓷支撑环下滑的钼销。

进一步的，所述耐高温导线为不锈钢导线。

相对于现有技术，本发明创造所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置具有以下优势：

本发明创造所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，结构简单，制造成本交低，通过本装置，保证单晶硅稳定化时的液面位置一致性、可控性，同时由于本装置为自动调整，因此提高了安全性能。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本发明创造实施例所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置结构示意图；

图2为本发明创造实施例所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置图1中的A放大示意图；

图3为本发明创造实施例所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置图1中的B放大示意图；

图4为本发明创造实施例所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置中钼杆结构图；

图5为本发明创造实施例所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置原理图。

附图标记说明：

1-钼杆； 101-本部；102-安装部；2-导流筒；

3-支撑块； 4-陶瓷支撑环；5-石墨针；6-支撑板；

7-耐高温导线； 8-硅液；9-坩埚；10-举升机构；

11-连接轴；12-瓷套； 13-钼销14-耐高温螺钉。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。