[发明专利]调节多等离子体处理站的阻抗或功率的组合器和分配器

摘要

本发明涉及调节多等离子体处理站的阻抗或功率的组合器和分配器。具体而言，描述了用于调节多等离子体处理站的阻抗或功率或其组合的系统和方法。该系统中的一种包括：第一射频(RF)发生器，其产生具有第一频率的第一RF信号；第二RF发生器，其被配置为产生具有第二频率的第二RF信号；以及第一匹配网络，其耦合到第一RF发生器以接收第一RF信号。第一阻抗匹配网络在接收到第一RF信号时输出第一经修改的RF信号。系统还包括第二匹配网络，其耦合到第二RF发生器以接收第二RF信号。第二匹配网络被配置为在接收到第二RF信号时输出第二经修改的RF信号。系统还包括组合器和分配器，其耦合到第一匹配网络的输出和第二匹配网络的输出。

主权项

一种系统，其包括：第一射频(RF)发生器，其被配置为生成具有第一频率的第一RF信号；第二RF发生器，其被配置为产生具有第二频率的第二RF信号；第一匹配网络，其耦合到所述第一RF发生器以接收所述第一RF信号，其中所述第一阻抗匹配网络被配置为在接收到所述第一RF信号时输出第一经修改的RF信号；第二匹配网络，其耦合到所述第二RF发生器以接收所述第二RF信号，其中所述第二匹配网络被配置为在接收到所述第二RF信号时输出第二经修改的RF信号；和组合器和分配器，其耦合到所述第一匹配网络的输出和所述第二匹配网络的输出，其中所述组合器和分配器被配置为组合所述第一经修改的RF信号和所述第二经修改的RF信号以将组合的RF信号提供给多个等离子体处理站，其中所述组合器和分配器具有耦合到所述等离子体处理站的多个输出，其中所述组合器和分配器包括针对所述第一频率和所述第二频率的多个调谐电路，以基于在所述组合器和分配器的输出处测得的参数调谐与所述等离子体处理站相关联的阻抗。