[发明专利]传送装置在审
| 申请号： | 201710442073.X | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107488835A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 安田淳一;村山吉信;降矢新治;蛭间雅义;松崎淳介;高桥明久 | 申请（专利权）人： | 爱发科低温泵株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。具有卷绕在至少两个辊(20、30)上、外表面上载置有基板(S)并环绕行进的传送带(10)。以位于各辊间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部(Uv)，另一侧的部分为下带部(Dv)，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带的宽度的冷却面板(40)。还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置(5)，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间(60)中提供惰性气体的气体供给装置(70)。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种传送装置，是用于在真空气氛的腔室内边冷却边运送被传送物的传送装置，其特征在于：具有卷绕在至少两个旋转部件上、外表面上载置有被传送物并环绕行进的传送带；以位于各旋转部件间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部，另一侧的部分为下带部，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带宽度的冷却面板；还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间中提供惰性气体的气体供给装置。
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