[发明专利]传送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于在真空气氛的腔室内边冷却边运送被传送物(主要是基板)的传送装置。

背景技术

这种传送装置例如由专利文献1可知。在该传送装置中，将作为被传送物的基板以保持在托盘上的状态依次在通过闸阀相互连接的多个真空气氛的腔室内运送，以在该运送路径上设置的冷却用腔室来冷却基板。在冷却用腔室中，在运送方向上以规定间隔并列设置多根冷却辊的同时，并列设置多根与各冷却辊相对的推压辊。并且，以使用各冷却辊和各推压辊夹持托盘两面的状态来旋转驱动两辊，以此来从运送方向上游侧向下游侧运动托盘，期间通过与冷却辊的热传导进行的热交换来冷却托盘，结果是边冷却边运送基板。

各冷却辊上分别连接有与冷却装置相连通的出流管和回流管。在运送托盘时，通过出流管从冷却装置将冷媒分别供给到各冷却辊，在冷媒流过各冷却辊的内部通道后，经回流管返回冷却装置。此处，在上述以往例的结构中，当例如作为被传送物的基板的面积较大时，可与之对应地将冷却辊形成的更长，进而，内部通道也变长，所以可有效地对冷却辊进行冷却。但是。当例如基板的面积较小时，考虑到装置小型化等，不得不将冷却辊本身缩短。因此，存在内部通道变短无法有效地对冷却辊进行冷却的问题，这样就出现无法将基板冷却到规定温度以下的问题。再有，当采用在真空气氛的腔室内对多根冷却辊分别提供冷媒的结构时，也存在需要唇形密封件等部件而导致装置结构变得复杂的问题。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】专利公开2010－21403号公报

发明内容

发明要解决的问题

鉴于以上内容，本发明的课题是提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。

解决技术问题的方法

为了解决上述课题，本发明的传送装置，是用于在真空气氛的腔室内边冷却边运送被传送物的传送装置，其特征在于：具有卷绕在至少两个旋转部件上、外表面上载置有被传送物并环绕行进的传送带；以位于各旋转部件间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部，另一侧的部分为下带部，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带宽度的冷却面板；还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间中提供惰性气体的气体供给装置。

在本发明的另一方式中，其特征在于：两个上述传送装置配置为其上带部相对，传送带以两上带部从其上下方向上夹持被传送物的状态环绕行进。

采用上述结构，传送带通过与之相对的冷却面板发出的辐射而在其整个宽度方向上被冷却，此外，供给到空间中的惰性气体被冷却面板冷却，通过该被冷却的惰性气体与传送带碰撞产生的热交换而进一步使传送带冷却。并且，在被传送物被载置于传送带上的状态、或者被上下一对的传送带夹持的状态下，从运送方向上游侧朝下游侧运送期间，如上所述，通过与冷却了的传送带的热传导产生的热交换，被传送物被有效地冷却。此时，冷却面板只是配置为在腔室内与传送带相对，因此，与如上述以往例那样，采用向多根冷却辊分别提供冷媒的结构的装置相比，装置结构简单。此处，冷却装置例如由冷却头以及具有压缩机、冷凝器和膨胀阀的冷冻机本体构成，通过以从热交换机向冷冻机本体循环提供的冷媒冷却可将包含冷却面板的冷却头冷却到规定温度。此时，只要将冷却头配置到腔室内即可，可进一步简化装置结构。此外，考虑边冷却边运送被传送物时的腔室内的真空度(压力)和惰性气体(原子或分子)的平均自由行程等而适当设置传送带和冷却面板的上下方向上的间隔。

在本发明中，优选具有围绕所述空间的周围使该空间从腔室内气氛分离的气氛分离装置。由此，可使冷却了的惰性气体对传送带反复碰撞，可提高冷却面板的冷却效率。再有，优选冷却面板其传送带侧的表面被加工为黑色，其背对传送带侧的表面被加工为镜面。由此，传送带本身会更有效地被冷却，是有利的。进而，所述气体供给装置优选具有嵌插在开设于所述冷却面板上的孔内的气管。由此，通过气管被来自冷却面板的热传导所冷却，使得通过其内部的惰性气体在被供给到上述空间前被预先冷却，通过使被冷却的惰性气体冲撞传送带，可进一步提高冷却效率。

附图说明

图1是显示本发明的第一实施方式的传送装置的结构的剖面示意图。

图2是从图1的II－II线看的图。

图3是图1中以点划线包围的部分的放大图。