[发明专利]制造研磨垫的研磨层的方法及设备有效
| 申请号： | 201710432462.4 | 申请日： | 2013-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN107030595B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | R·巴贾杰;B·L·钦;T·Y·李 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24D18/00;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造研磨垫的研磨层的方法及设备，该方法包括使用3D印刷机相继地沉积多个层，通过从喷头喷出垫材料前驱物、并固化该垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积该多个研磨层的每一层。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 研磨 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种制造研磨垫的研磨层的方法，所述方法包括以下步骤：使用3D液滴喷出式印刷机相继地沉积多个层以形成所述研磨垫的至少所述研磨层，通过从所述液滴喷出式印刷机的喷嘴喷出垫材料前驱物的液滴、且固化所述垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积所述多个层的每一层，其中固化所述垫材料前驱物的步骤包括硬化所述垫材料前驱物，且其中通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在支座上来沉积第一层以及通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在已固化的垫材料上来沉积每一后续沉积层；以及从所述支座卸除所述研磨层。
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