[发明专利]制造研磨垫的研磨层的方法及设备

权利要求书

1.一种制造研磨垫的研磨层的方法，所述方法包括以下步骤：

使用3D液滴喷出式印刷机相继地沉积多个层以形成所述研磨垫的至少所述研磨层，通过从所述3D液滴喷出式印刷机的喷嘴喷出垫材料前驱物的液滴、且固化所述垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积所述多个层的每一层，其中固化所述垫材料前驱物的步骤包括硬化所述垫材料前驱物，且其中通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在支座上来沉积第一层以及通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在已固化的垫材料上来沉积每一后续沉积层；以及

从所述支座卸除所述研磨层。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个层的每一层的厚度小于所述研磨层的总厚度的50％。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述多个层的每一层的厚度小于所述研磨层的总厚度的1％。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，包括通过在计算机上执行的3D绘图程序控制所述垫材料前驱物的射出以在所述多个层的至少一些层中形成图案的方式来在所述研磨层中形成凹槽。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，硬化所述垫材料前驱物的步骤包括紫外线(UV)硬化。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述垫材料前驱物包括胺甲酸乙酯单体。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

使用所述3D液滴喷出式印刷机相继地沉积多个层以形成所述研磨垫的背托层，其中由所述3D液滴喷出式印刷机以不间断的操作方式制造所述背托层和研磨层。

8.一种制造研磨垫的研磨层的设备，包括：

支座，所述支座用于支持所述研磨垫的所述研磨层，其中所述支座被配置成从所述支座卸除所述研磨层垫材料；

3D液滴喷出式印刷机，所述3D液滴喷出式印刷机被配置成相继地沉积多个层以形成所述研磨垫的至少所述研磨层，所述3D液滴喷出式印刷机包括喷嘴并且配置成通过从所述喷嘴喷出垫材料前驱物的液滴、且固化所述垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积所述多个层的每一层，其中通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在支座上来沉积第一层以及通过所述喷嘴将所述垫材料前驱物的液滴喷射在已固化的垫材料上来沉积每一后续沉积层；以及

UV辐射，所述UV辐射用于硬化所述垫材料前驱物以固化所述垫材料前驱物。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述多个层的每一层的厚度小于所述研磨层的总厚度的50％。

10.如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述多个层的每一层的厚度小于所述研磨层的总厚度的1％。

11.如权利要求8所述的设备，其特征在于，包括具有3D绘图程序的计算机，所述3D绘图程序配置成控制所述3D液滴喷出式印刷机通过控制所述垫材料前驱物的射出以在所述多个层的至少一些层中形成图案的方式来在所述研磨层中形成凹槽。

12.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述喷嘴配置成平移而横越所述支座。

13.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述垫材料前驱物包括胺甲酸乙酯单体。

14.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述3D液滴喷出式印刷机被配置成相继地沉积多个层以形成所述研磨垫的背托层，其中由所述3D液滴喷出式印刷机以不间断的操作方式制造所述背托层和研磨层。