[发明专利]一种防止器件漏流的局部灌封工艺方法有效
申请号: | 201710420194.4 | 申请日: | 2017-06-06 |
公开(公告)号: | CN107369629B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 栗凡;董玉;郝葳潇 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种防止器件漏流的局部灌封工艺方法,在器件的外沿设置围栏,所述器件上设置有一体式结构的引线,采用局部灌封硅橡胶技术在所述引线和围栏之间设置灌封材料,经过真空处理后进行灌封,室温固化完成防护工艺处理。本发明满足大质量多引线的二次加固,QFP、SOP封装器件现有加固措施仅为四角蘸垫加固胶进行加固处理,而针对间距小于0.5mm的QFP封装、SOP封装器件采用此方法防护后起到了二次加固的作用,更好的适应了力学条件下的适应性,提高了器件的使用可靠性,降低了器件的报废率、节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 器件 局部 工艺 方法 | ||
【主权项】:
1.一种防止器件漏流的局部灌封工艺方法,其特征在于,在器件(4)的外沿设置围栏(1),所述器件(4)上设置有一体式结构的引线(3),采用局部灌封硅橡胶技术在所述引线(3)和围栏(1)之间设置灌封材料(2),经过真空处理后进行灌封,室温固化完成防护工艺处理,包括以下步骤:S1、根据防护的要求,选择灌封材料和围栏材料,所述灌封材料为107硅橡胶,所述围栏材料为GD414硅橡胶,将所述GD414硅橡胶包裹所述107硅橡胶对被灌封元器件进行处理;S2、将围栏材料摊平在聚酯薄膜上,预制成0.5mm~1mm的薄片,对待灌封的器件表面预涂有机硅清漆,晾干待用;S3、根据器件的尺寸,将步骤S2制备的所述薄片加工成条状物,所述条状物的长度和宽度大于所述器件本体1~2mm,用所述围栏材料将所述条状物粘接在欲灌封的器件四周,制成围栏;S4、配制所述灌封材料,在1500~3000Pa真空条件下进行胶液配置并真空放置至少20分钟,经过真空处理后进行灌封,灌封完毕后在25±5℃温度下晾置24小时固化。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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