[发明专利]基板贮送系统有效

专利信息
申请号: 201710407358.X 申请日: 2017-06-02
公开(公告)号: CN108346605B 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 林忠和;陈宏奇 申请(专利权)人: 孙建忠
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人: 黄超;周春发
地址: 中国台湾高雄市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明关于一种基板贮送系统,包括一机体,该机体一侧设有一预备输送空间,该预备输送空间一侧与一直立的升降容室相邻,该预备输送空间与该升降容室相邻处设一输入部,该升降容室内部设一具复数容室空间的载框,该载框设有复数纵向承载部,且该载框由一升降机组共联且令复数承载部一体升降,复数组基板载具分别由该输入部装载至该各承载部。如此即可以使得基板载具摆置所占的空间充分节省,且只需要配合该可供伸入输送操作室的移动设备作为取件的工具,而能够充分有效利用空间以及节省成本。
搜索关键词: 输送空间 载框 升降 基板载具 预备 承载 送系统 复数 基板 容室 复数纵向 容室空间 升降机组 一体升降 移动设备 操作室 复数组 室内部 相邻处 一机体 取件 伸入 装载 配合
【主权项】:
1.一种基板贮送系统,其特征在于,包括一机体,该机体一侧设有一预备输送空间,该预备输送空间一侧与一直立的升降容室相邻,该预备输送空间与该升降容室相邻处设一输入部,该升降容室内部设一复数容室空间的载框,该载框设有复数纵向承载部,且该载框由一升降机组共联且令复数承载部一体升降,复数组基板载具分别由该输入部装载至该载框的该各承载部,该各个基板载具由二侧板、一底板、一后板与一顶板相互框围而成,该各基板载具内部具有一容室,该各基板载具一侧具有开口与该容室相通,该容室内部设有一隔层部,该隔层部的周边设有复数间隔元件,相对框围而令中央为中空部位,该隔层部下方设有一输送操作室,以及设一供伸入该输送操作室的移动设备,藉以供该移动设备因应该升降机组的升降动作而相对取出该隔层部的间隔元件内的基板而为输送移动。
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