[发明专利]金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法，步骤：1)选择至少一种原材料添加到去离子水中形成溶液；2)取一基板清洗；3)将基板放置喷涂作业空间内的热板上；4)将溶液倒进高压喷雾系统的材料室；5)在喷涂作业空间内充满一个大气压的氮气；6)打开高压喷雾系统的喷头，将溶液均匀喷射在基板上；7)重复步骤6)，直到金属氮氧化物薄膜的厚度满足要求；8)将基板取出干燥。该方法制备的透明导电薄膜既能保持优良的导电性和透光率，又能降低生产成本，节约生产能耗，可实现大规模卷对卷生产，可用于制造显示器领域和太阳能电池领域的电极、电极引线和数据引线。

主权项

1.金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1)常温下，在下列六种原材料中至少选择一种，按每100CC水取0.1克‑10克，添加到去离子水中形成溶液：六种原材料为：硫酸锌ZnSO4，醋酸锌Zn(C2H3O2)2，硝酸锌Zn(NO3)2，硝酸铟In(NO3)3，醋酸铟In(C2H3O2)3，硫酸铟In2(SO4)3；2)取一基板清洗；3)将基板放置喷涂作业空间内的热板上，加热到300度‑500度并保持；4)将步骤1)所述的溶液倒进高压喷雾系统的材料室；5)在喷涂作业空间内充满一个大气压的氮气；6)打开高压喷雾系统的喷头，将溶液均匀喷射在基板上，每喷射5nm‑20nm暂停10‑30秒，让喷涂作业空间内的氮气与喷在基板上的溶液充分反应，以形成金属氮氧化物薄膜：氮氧化锌ZnOxN1‑x、氮氧化铟In2OxN3‑x、或两者的混合物薄膜；7)重复步骤6)，直到金属氮氧化物薄膜的厚度为100nm‑1000nm；8)将所得的具有金属氮氧化物薄膜的基板取出并干燥。