[发明专利]金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

1)常温下，在下列六种原材料中至少选择一种，按每100CC水取0.1克-10克，添加到去离子水中形成溶液：

六种原材料为：硫酸锌ZnSO₄，醋酸锌Zn(C₂H₃O₂)₂，硝酸锌Zn(NO₃)₂，硝酸铟In(NO₃)₃，醋酸铟In(C₂H₃O₂)₃，硫酸铟In₂(SO₄)₃；

2)取一基板清洗；

3)将基板放置喷涂作业空间内的热板上，加热到300度-500度并保持；

4)将步骤1)所述的溶液倒进高压喷雾系统的材料室；

5)在喷涂作业空间内充满一个大气压的氮气；

6)打开高压喷雾系统的喷头，将溶液均匀喷射在基板上，每喷射5nm-20nm暂停10-30秒，让喷涂作业空间内的氮气与喷在基板上的溶液充分反应，以形成金属氮氧化物薄膜：氮氧化锌ZnO_xN_1-x、氮氧化铟In₂O_xN_3-x、或两者的混合物薄膜；

7)重复步骤6)，直到金属氮氧化物薄膜的厚度为100nm-1000nm；

8)将所得的具有金属氮氧化物薄膜的基板取出并干燥。

2.根据权利要求1所述金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的基板的材料为石英、玻璃、硅、塑料或蓝宝石。

3.根据权利要求1所述金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，为进一步提高薄膜的光电特性，还包括在步骤8)之后的步骤9)：将具有金属氮氧化物薄膜的基板放到高速升温光学加热系统RTA中照射8秒-12秒后取出，使薄膜达到700摄氏度。