[发明专利]一种产生波浪形等离子体的装置及方法

摘要

本发明提供了一种产生波浪形等离子体的装置和方法，该装置包括放电机构、供气机构和供电机构。放电机构包括绝缘管和棒电极，棒电极置于绝缘管的中轴线上，绝缘管一端为进气口，另一端为出气口，进气口与供气机构相连；供气机构包括供气管路和提供放电气体的储气罐。本发明采用所提供的装置可在开放环境中产生较大长度的波浪形等离子体，对于研究等离子体动力学具有深远的意义，且对不规则形状工件的表面处理以及小孔径管状工件内壁的表面处理等需求有较高的应用价值｡

主权项

1.一种产生波浪形等离子体的方法，其特征是，包括如下步骤：a、设置一绝缘管和棒电极，将棒电极置于绝缘管的中轴线位置，所述绝缘管的一端为进气口，另一端为出气口；b、设置供气管路，将供气管路的一端与所述绝缘管的进气口相连，供气管路的另一端连接盛有放电气体的储气罐，在供气管路上设置气阀、气压表和流量计；c、设置一高压交流电源，将高压交流电源的高压输出端与所述棒电极电连接，将高压交流电源的接地端接地线；d、打开供气管路上的气阀，储气罐内的放电气体经供气管路通入绝缘管内，流经绝缘管后由出气口流出，进入开放的放电空间；e、打开高压交流电源的开关，逐渐增加高压交流电源的输出电压，使得棒电极在放电空间形成白色圆锥形等离子体羽；f、增大交流电压的偏置电压，使白色圆锥形等离子体羽变为具有空心结构的流线型等离子体羽；g、减小交流电压的频率，可以观察到流线型等离子体羽逐渐变为波浪形等离子体羽｡