[发明专利]一种产生波浪形等离子体的装置及方法

权利要求书

1.一种产生波浪形等离子体的方法，其特征是，包括如下步骤：

a、设置一绝缘管和棒电极，将棒电极置于绝缘管的中轴线位置，所述绝缘管的一端为进气口，另一端为出气口；

b、设置供气管路，将供气管路的一端与所述绝缘管的进气口相连，供气管路的另一端连接盛有放电气体的储气罐，在供气管路上设置气阀、气压表和流量计；

c、设置一高压交流电源，将高压交流电源的高压输出端与所述棒电极电连接，将高压交流电源的接地端接地线；

d、打开供气管路上的气阀，储气罐内的放电气体经供气管路通入绝缘管内，流经绝缘管后由出气口流出，进入开放的放电空间；

e、打开高压交流电源的开关，逐渐增加高压交流电源的输出电压，使得棒电极在放电空间形成白色圆锥形等离子体羽；

f、增大交流电压的偏置电压，使白色圆锥形等离子体羽变为具有空心结构的流线型等离子体羽；

g、减小交流电压的频率，可以观察到流线型等离子体羽逐渐变为波浪形等离子体羽｡

2.根据权利要求1所述的产生波浪形等离子体的方法，其特征是，步骤d中，通过供气管路上的流量计，控制放电气体在绝缘管内以层流状态流动｡

3.根据权利要求1所述的产生波浪形等离子体的方法，其特征是，步骤g中，高压交流电源的频率范围为50Hz~3kHz，高压交流电源输出的电压波形为正弦波、方波或三角波，所述偏置电压的范围在为0~25kV｡

4.根据权利要求1所述的产生波浪形等离子体的方法，其特征是，所述放电气体为惰性气体或惰性气体与空气的混合气体，放电气体的流速控制为1~10L/min｡

5.根据权利要求1所述的产生波浪形等离子体的方法，其特征是，所述绝缘管的出气口为全敞口，所述棒电极的末端距离出气口所在平面的距离为0~10mm。