[发明专利]一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201710386332.1 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107032781A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张天舒;宋晓超;陈晨;钱邦正 | 申请（专利权）人： | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/634 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 张清彦 |
| 地址： | 230012 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，包括以下步骤将氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，并加入分散剂和水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；将预混液经球磨制备成悬浮液浆料；将球磨好的浆料经真空除气，把除气后料浆注入石膏模具中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上；固化后脱脂，得AZO坯体；坯体经烧结制得AZO靶材。本发明采用注浆成型与无压烧结AZO靶材工艺，可低成本制得高密度的AZO靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成型 高密度 azo 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：将重量比为100：3～5的氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，以混合物重量为100％计，向尼龙制罐中加入1.5～3.0％的分散剂和20～35％的水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；(2)悬浮浆料的制备：将预混液经湿磨制备悬浮液；(3)坯体成型：将球磨好的浆料进行真空除气，把进行除气后料浆注入石膏模中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得AZO坯体；(4)脱脂：将脱模后的AZO素坯置于脱脂炉中，以0.5℃/min升温至600℃，并恒温3h；(5)烧结：将脱脂的AZO坯体放在置在高温烧结炉中进行无压烧结，以50～100℃/h升温至1300～1500℃，保温5～10h，冷却，得AZO靶材。
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