[发明专利]一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法

权利要求书

1.一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)预混液制备：将重量比为100：3～5的氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，以混合物重量为100％计，向尼龙制罐中加入1.5～3.0％的分散剂和20～35％的水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；

(2)悬浮浆料的制备：将预混液经湿磨制备悬浮液；

(3)坯体成型：将球磨好的浆料进行真空除气，把进行除气后料浆注入石膏模中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得AZO坯体；

(4)脱脂：将脱模后的AZO素坯置于脱脂炉中，以0.5℃/min升温至600℃，并恒温3h；

(5)烧结：将脱脂的AZO坯体放在置在高温烧结炉中进行无压烧结，以50～100℃/h升温至1300～1500℃，保温5～10h，冷却，得AZO靶材。

2.根据权利要求1所述的一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于：所述氧化锌粉末的平均粒径为250nm，所述氧化铝粉末的平均粒径为310nm。

3.根据权利要求1所述的一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于：所述分散剂为聚丙烯酸、聚乙二醇、聚丙烯酸胺、阿拉伯树胶的任意一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于：所述分散剂为重量比为3～4：2的聚丙烯酸和聚乙二醇。

5.根据权利要求1所述的一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中球磨机的球磨介质为直径为5mm的氧化锆球，球料比为2～4：1。

6.根据权利要求5所述的一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中尼龙罐转速为120rpm，研磨时间为35～45h。