[发明专利]半导体器件有效
| 申请号: | 201710374695.3 | 申请日: | 2017-05-24 |
| 公开(公告)号: | CN108933166B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
| 发明(设计)人: | 张金;魏洋;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/24 | 分类号: | H01L29/24;H01L29/417;H01L29/43;H01L29/78;B82Y30/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一种半导体元件,其包括一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,其包括:一第一电极、一第二电极、一第三电极及一半导体元件;该半导体元件与该第一电极和第二电极电连接,该第三电极通过一绝缘层与该半导体元件、第一电极及第二电极绝缘设置;所述半导体元件包括:一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体层的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构;其中,所述第一电极与碳纳米管电连接,所述第二电极与导电膜电连接。
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