[发明专利]电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201710352351.2 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107229909B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G07C9/00;H01L41/113 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;刘飞<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法，该方法括：在基底层顶部形成具有特定压电应变常数的第一压电层；在第一压电层顶部形成第一平面电极；在第一平面电极顶部形成具有特定压电电压常数的第二压电层；在第二压电层顶部形成第二平面电极；在基底层上形成谐振空腔，并在谐振空腔内形成第三平面电极，以形成第一器件；第一平面电极、第二压电层和第二平面电极用于实现超声波发射；第三平面电极、第一压电层、第二压电层和第二平面电极用于实现超声波接收；将第一器件与配合的半导体器件进行集成，以形成超声波指纹识别装置。本申请实施例可提高超声波指纹识别装置的回路效率和识别灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 平面电极 压电层 指纹识别装置 超声波 谐振空腔 基底层 压电电压常数 压电应变常数 半导体器件 超声波发射 超声波接收 电子设备 回路效率 灵敏度 申请 配合 制造 | ||
【主权项】：
1.一种超声波指纹识别装置的制造方法，其特征在于，包括：/n在基底层顶部形成具有特定压电应变常数的第一压电层；/n在所述第一压电层顶部形成第一平面电极；/n在所述第一平面电极顶部形成具有特定压电电压常数的第二压电层；/n在所述第二压电层顶部形成第二平面电极；/n在所述基底层上形成谐振空腔，并在所述谐振空腔内形成第三平面电极，以形成第一器件；所述第一平面电极、所述第二压电层和所述第二平面电极用于实现超声波发射；所述第三平面电极、所述第一压电层、所述第二压电层和所述第二平面电极用于实现超声波接收；/n将所述第一器件与配合的半导体器件进行集成，以形成超声波指纹识别装置。/n
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