[发明专利]基于横向结构发光二极管在审
申请号: | 201710347695.4 | 申请日: | 2017-05-17 |
公开(公告)号: | CN107170859A | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 刘晶晶 | 申请(专利权)人: | 厦门科锐捷半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/34;H01L21/02 |
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地址: | 361021 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于横向结构发光二极管,包括SOI衬底;Ge外延层,设置于SOI衬底的上表面;GeSn层,设置于Ge外延层的上表面的中间位置处;N型Ge区域,由Ge外延层掺杂形成,位于GeSn层一侧;P型Ge区域,由Ge外延层掺杂形成,位于GeSn层另一侧;P型Ge区域、GeSn层和N型Ge区域形成脊形横向的PiN结构正电极,设置于P型Ge区域的上表面;负电极,设置于N型Ge区域的上表面,以形成基于横向结构发光二极管。本发明提供的基于横向结构发光二极管,利用Ge外延层位错密度低的优点,利用p+‑Ge/直接带隙GeSn/n+‑Ge的横向结构发光二极管,极大地提高发光二极管的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 基于 横向 结构 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种基于横向结构发光二极管(1),其特征在于,包括:SOI衬底(11);Ge外延层(12),设置于所述SOI衬底(11)的上表面;GeSn层(13),设置于所述Ge外延层(12)的上表面的中间位置处;N型Ge区域(14),由所述Ge外延层(12)掺杂形成,位于所述GeSn层(13)一侧;P型Ge区域(15),由所述Ge外延层(12)掺杂形成,位于所述GeSn层(13)另一侧;所述P型Ge区域(15)、所述GeSn层(13)和所述N型Ge区域(14)形成脊形横向的PiN结构:正电极(16),设置于P型Ge区域(15)的上表面;负电极(17),设置于N型Ge区域(14)的上表面,以形成所述基于横向结构发光二极管(1)。
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