[发明专利]一种微纳米结构铁酸铋光伏器件的制备方法

摘要

本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种微纳米结构铁酸铋光伏器件的制备方法。该方法利用飞秒激光表面织构技术在衬底表面制备微纳米结构，通过磁控溅射方法制备BiFeO₃薄膜和电极，利用飞秒激光在衬底摆动状态下对薄膜实现激光晶化。本发明通过衬底表面微纳米结构的制备以及调控BiFeO₃薄膜的晶粒尺寸，提高了BiFeO₃薄膜光伏器件的光电转换效率。

主权项

1.一种微纳米结构铁酸铋光伏器件的制备方法，其特征在于：所述制备方法的步骤包括，(1)衬底清洗；(2)在步骤(1)中处理后的衬底表面制备微纳米结构；(3)在步骤(2)得到的微纳米结构表面制备BiFeO₃薄膜；(4)对步骤(3)制备的BiFeO₃薄膜进行激光晶化，将步骤(3)所得的BiFeO₃薄膜固定平放于一个可摆动的操作平台上，并在摆动情况下对BiFeO₃薄膜进行激光照射晶化；(5)在经过步骤(4)处理的BiFeO₃薄膜表面制备上电极;所述BiFeO₃薄膜厚度为50~400nm且其表面呈凹凸状；步骤(2) 中，利用飞秒激光表面织构技术在所述衬底表面制备微纳米结构；所述的飞秒激光处理手段中，操作平台的台面为圆形，激光照射晶化时，操作平台以圆形台面的垂直 中心线为轴均匀地进行全方位摆动，操作平台摆动的振幅为0.5～3.0mm，摆动频率为600～ 900次/分钟。