[发明专利]一种金属孔可控制造方法在审
| 申请号： | 201710344530.1 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107140600A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 袁志山;王成勇 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)44349 | 代理人： | 鲁慧波 |
| 地址： | 516000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属孔可控制造方法。包括首先提供一基板。通过沉积的方法，在基体表面沉积金属薄膜。接着，设定金属孔区域。最后，通过离子束辐照已经设定的金属孔区域中的金属薄膜，在去湿润效应的作用下，刻蚀出金属孔。本发明工艺简单，与MEMS工艺的兼容使其有较好的扩展性，同时可以重复循环使用，在生化检测领域有着较广的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 可控 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种金属孔可控制造方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：1)提供一基板；2)通过沉积方法在所述基板的表面沉积有金属薄膜；3)设定金属孔区域；4)利用离子束辐照已经设定的金属孔区域中的金属薄膜，刻蚀出金属孔。
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