[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置

摘要

一种感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置。本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有(A‑2)树脂混合物和(B)光产酸剂，所述(A‑2)树脂混合物含有具有下述通式(7)所示结构的树脂和具有下述通式(8)所示结构的树脂，该具有通式(7)所示结构的树脂:该具有通式(8)所示结构的树脂的重量比为5:95～95:5，式(7)和(8)中，X各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基甲基、碳原子数为2～20的烷氧基烷基、被至少一个碳原子数为1～10的烷基取代的甲硅烷基、四氢吡喃基、和四氢呋喃基组成的组中的一价基团，m1各自独立地是1～3的整数，但是多个m1不会同时是1，m2各自独立地是0～2的整数，2≤(m1+m2)≤4，m3和m4各自独立地是0～4的整数，n1和n2各自独立地是1～500的整数，R1各自独立地是选自由碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、硝基、氰基、和下述通式(5)或(6)所示的基团组成的组中的一价基团，m2是2时，多个R1可以分别相同或不同，R2～R5各自独立地是氢原子、碳原子数为1～10的一价脂肪族基团、或者氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，R6和R7各自独立地是卤原子、羟基或一价有机基团，m3是2～4的整数时，多个R6可以分别相同或不同，m4是2～4的整数时，多个R7可以分别相同或不同，Y是下述通式(3)或(4)所示的二价有机基团，W是选自由单键、碳原子数为1～10的链状脂肪族基团、氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～10的链状脂肪族基团、碳原子数为3～20的脂环式基团、氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为3～20的脂环式基团、重复单元数1～20的亚烷基氧基、和下述通式(2)所示的基团组成的组中的二价基团，‑O‑‑CR8R9‑(3)式(3)中，R8和R9各自独立地是氢原子或碳原子数为1～11的一价有机基团或者含有羧基、磺酸基和酚性羟基的基团，式(4)中，R11～R14各自独立地是氢原子、碳原子数为1～10的一价脂肪族基团、或者氢原子的一部分或全部被氟原子取代而成的碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，m5是1～4的整数，m5是1时，R10是羟基，而m5是2～4的整数时，至少一个R10是羟基，剩余的R10是卤原子、羟基或一价有机基团，全部R10可以相同或不同，式(5)中，R15是选自由羟基、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、碳原子数为6～18的芳香族基团、‑NH2、‑NH‑R19、‑N(R19)2、和‑O‑R19所示的基团组成的组中的一价基团，其中，R19是选自碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、或碳原子数为6～18的芳香族基团中的一价基团，式(6)中，R16和R17’各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、和碳原子数为6～18的芳香族基团组成的组中的一价基团，并且可以由R16和R17’形成环。