[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有(A-2)树脂混合物、(B)光产酸剂和(C)交联剂，所述(A-2)树脂混合物含有具有下述通式(7)所示结构的树脂和具有下述通式(8)所示结构的树脂，该具有通式(7)所示结构的树脂：该具有通式(8)所示结构的树脂的重量比为5:95～95:5，

式(7)和(8)中，X各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基甲基、碳原子数为2～20的烷氧基烷基、被至少一个碳原子数为1～10的烷基取代的甲硅烷基、四氢吡喃基、和四氢呋喃基组成的组中的一价基团，m₁各自独立地是1～3的整数，但是多个m₁不会同时是1，m₂各自独立地是0～2的整数，2≤(m₁+m₂)≤4，m₃和m₄各自独立地是0～4的整数，n₁和n₂各自独立地是1～500的整数，R₁各自独立地是选自由碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、硝基、氰基、和下述通式(5)或(6)所示的基团组成的组中的一价基团，m₂是2时，多个R₁任选分别相同或不同，R₂～R₅各自独立地是氢原子、碳原子数为1～10的一价脂肪族基团、或者氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，R₆和R₇各自独立地是卤原子、羟基或一价有机基团，m₃是2～4的整数时，多个R₆任选分别相同或不同，m₄是2～4的整数时，多个R₇任选分别相同或不同，Y是下述通式(3)或(4)所示的二价有机基团，W是选自由单键、碳原子数为1～10的链状脂肪族基团、氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～10的链状脂肪族基团、碳原子数为3～20的脂环式基团、氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为3～20的脂环式基团、重复单元数1～20的亚烷基氧基、和下述通式(2)所示的基团组成的组中的二价基团，

-CR₈R₉- (3)

式(3)中，R₈和R₉各自独立地是氢原子或碳原子数为1～11的一价有机基团或者含有羧基、磺酸基和酚性羟基的基团，

式(4)中，R₁₁～R₁₄各自独立地是氢原子、碳原子数为1～10的一价脂肪族基团、或者氢原子的一部分或全部被氟原子取代而成的碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，m₅是1～4的整数，m₅是1时，R₁₀是羟基，而m₅是2～4的整数时，至少一个R₁₀是羟基，剩余的R₁₀是卤原子、羟基或一价有机基团，全部R₁₀任选相同或不同，

式(5)中，R₁₅是选自由羟基、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、碳原子数为6～18的芳香族基团、-NH₂、-NH-R₁₉、-N(R₁₉)₂、和-O-R₁₉所示的基团组成的组中的一价基团，其中，R₁₉是选自碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、或碳原子数为6～18的芳香族基团中的一价基团，

式(6)中，R₁₆和R₁₇’各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、和碳原子数为6～18的芳香族基团组成的组中的一价基团，并且任选由R₁₆和R₁₇’形成环。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述通式(7)和(8)中的X全部是氢原子。