[发明专利]一种透明柔性氧化物铁电存储器

摘要

本发明公开了一种透明柔性氧化物铁电存储器。该透明柔性铁电存储器由依次连接的云母基片、掺杂ZnO透明电极、氧化物铁电薄膜和ITO透明电极组成。本发明的铁电存储器，以层状钙钛矿氧化物铁电薄膜作为铁电功能层；其透光性好，波长超过400nm的可见光的透光率在80%以上；且柔性耐弯折，弯曲半径为1.4mm时，饱和极化强度和剩余极化强度接近于平整状态时的数值；耐高温性能优异，经450℃退火后，饱和极化强度和剩余极化强度无明显变化，在透明柔性铁电存储器中具有广泛的应用前景。

主权项

1.一种透明柔性氧化物铁电存储器，其特征在于，由依次连接的云母基片、掺杂ZnO透明电极、氧化物铁电薄膜和ITO透明电极组成，云母基片为0.1μm~10μm厚的氟晶云母；掺杂ZnO透明电极为2wt%Al2O3掺杂的ZnO薄膜或掺杂ZnO透明电极为5wt%Ga2O5掺杂的ZnO薄膜。