[发明专利]一种射线空间角定位仪在审
| 申请号： | 201710329569.6 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107192371A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王肖磊;宗东海;孙智江 | 申请（专利权）人： | 海迪科（南通）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C1/00 | 分类号： | G01C1/00 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种射线空间角定位仪，包括一底座，在底座上活动连接可360度旋转的角度盘，所述角度盘上滑动连接有可沿角度盘角度方向转动的可移动伸缩臂，且在可移动伸缩臂的上端面固定连接有角度定位盘。本发明的优点在于本发明射线空间角定位仪，当底座放置于水平面时，转动可移动伸缩臂并保证其时刻与角度盘上射线平行，控制待测平面与角度定位盘于平行时，待测平面与射线的角度即为所需角度；进而通过该射线空间角定位仪可确保衬底与靶源射线间角度随时保持一致且精确量化，从而提高蒸镀的工艺精度，进一步提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 空间 定位 | ||
【主权项】：
一种射线空间角定位仪，其特征在于：包括一底座，在底座上活动连接可360度旋转的角度盘，所述角度盘上滑动连接有可沿角度盘角度方向转动的可移动伸缩臂，且在可移动伸缩臂的上端面固定连接有角度定位盘。
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