[发明专利]一种射线空间角定位仪

说明书

技术领域

本发明属于工业测量器件，特别涉及一种用于衬底与靶源射线间的射线空间角定位仪。

背景技术

随着经济的发展和生活水平的提高，真空镀膜技术已广泛应用于装饰品、建筑材料、平板显示、信息存储、集成电路、外延及衬底加工等诸多领域。

以衬底加工领域为例，工业用真空镀膜机为确保产能，一次性对十几甚至几十片衬底同时进行镀膜加工。衬底通常在球型真空镀膜罩中依次排列，由于球型镀膜罩中不同衬底与水平面之间角度不同，将导致镀膜的效果不同。此外，在科研领域中，镀膜角度同样是影响实验效果的因素之一。但是目前科研领域真空镀膜普遍采用基片位于靶材正上方的方式进行镀膜，而对镀膜角度的研究却开展的较少。

为了镀膜工艺中的镀膜质量得以保证，需衬底与靶材间的角度一致且可以精确量化。由于镀膜工艺中靶材是以放射状附着在衬底上，因此要确保衬底与靶源射线间角度随时保持一致是目前亟需解决的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种能够确保衬底与靶源射线间角度随时保持一致的射线空间角定位仪。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种射线空间角定位仪，其创新点在于：包括一底座，在底座上活动连接可360度旋转的角度盘，所述角度盘上滑动连接有可沿角度盘角度方向转动的可移动伸缩臂，且在可移动伸缩臂的上端面固定连接有角度定位盘。

进一步地，所述角度盘为圆心角在30～180°的扇形结构。

进一步地，所述角度定位盘与可移动伸缩臂之间的夹角可变，范围为0～90°，以确定待测平面与角度盘圆心射线之间的角度。

进一步地，所述角度盘与角度定位盘的精确度均为0.1～1°。

进一步地，所述底座和角度定位盘的形状均为圆形、椭圆或多边形中的任一种。

本发明的优点在于：

(1)本发明射线空间角定位仪，当底座放置于水平面时，转动可移动伸缩臂并保证其时刻与角度盘上射线平行，控制待测平面与角度定位盘于平行时，待测平面与射线的角度即为所需角度；进而通过该射线空间角定位仪可确保衬底与靶源射线间角度随时保持一致且精确量 化，从而提高蒸镀的工艺精度，进一步提高镀膜质量；

(2)本发明射线空间角定位仪，其中，角度盘为圆心角在30～180°的扇形结构，进而可使衬底与靶源射线间角度的范围值更广，应用于不同范围值衬底与靶源射线间角度的控制；

(3)本发明射线空间角定位仪，其中，角度盘和角度定位盘的精确度为0.1～1°，该精确度的设置，可使角度的精确度更高，进而使衬底与靶材间的角度可以精确量化，进一步确保蒸镀的工艺精度；

(4)本发明射线空间角定位仪，其中，底座和角度定位盘的形状均为圆形、椭圆或多边形中的任一种，形状多样化，不局限于某一种，只要满足平面结构要求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明射线空间角定位仪的结构示意图。

图2为本发明可移动伸缩臂结构示意图。

具体实施方式

下面的实施例可以使本专业的技术人员更全面地理解本发明，但并不因此将本发明限制在所述的实施例范围之中。

实施例

本实施例射线空间角定位仪，如图1所示，包括一圆形底座1，在圆形底座1的上端设置有可360度旋转的角度盘2，且角度盘2为圆心角在30～180°的扇形结构，角度盘2的精确度为0.1～1°；圆形底座1中间设置有穿过角度盘2的旋转轴，角度盘2围绕旋转轴进行360度旋转。

角度盘为圆心角在30～180°的扇形结构，进而可使衬底与靶源射线间角度的范围值更广，应用于不同范围值衬底与靶源射线间角度的控制。

在角度盘2上开有沿角度盘2圆弧延伸方向设置的滑动导槽21，且在角度盘2上还设置有可移动伸缩臂3，可移动伸缩臂3通过滑块与滑动导槽21滑动连接，进而使可移动伸缩臂3可沿角度盘角度方向转动；可移动伸缩臂3的上端面还固定连接有圆形角度定位盘4，角度定位盘4的精确度也为0.1～1°；其中，角度盘2和角度定位盘4的精确度均为0.1～1°，该精确度的设置，可使角度的精确度更高，进而使衬底与靶材间的角度可以精确量化，进一步确保蒸镀的工艺精度。