[发明专利]用于可调激光器的反射镜结构和可调激光器

摘要

本申请提供了一种用于可调激光器的反射镜结构和可调激光器，该反射镜结构采用超结构光栅作为反射镜，并在该超结构光栅所在区域的周围形成悬空结构，利用悬空结构在超结构光栅所在区域周围形成热隔离，提高热阻，减少了热量流失，使得热量集中在超结构光栅所在区域，从而能够提高反射镜结构的热调谐效率，有利于降低可调激光器的整体功耗。同时，通过在该悬空结构两侧设置侧向支撑结构，为悬空结构提供机械支撑。另外，使得悬空结构同一侧的任意两个侧向支撑结构在超结构光栅中对应的区域落在超结构光栅的空间周期中的不同位置，在热调谐时有助于避免超结构光栅的反射谱的平坦性恶化，从而有助于避免可调激光器性能的恶化。

主权项

1.一种用于可调激光器的反射镜结构，其特征在于，包括：从下至上依次堆叠的衬底层、支撑层、下包层、波导层、上包层和加热器层；所述反射镜结构还包括超结构光栅，所述超结构光栅沿着光在所述波导层中的传播方向设置在所述上包层与所述下包层之间，所述加热器层位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域；所述支撑层包括第一子支撑层和第二子支撑层，所述第一子支撑层和所述第二子支撑层沿着光在所述波导层中的传播方向位于所述衬底层的上表面的两侧，所述衬底层、所述第一子支撑层、第二子支撑层和所述下包层之间形成沿着光在所述波导层中的传播方向延伸的空间，沿着光在所述波导层中的传播方向在所述上包层的上表面上设置有第一列开口和第二列开口，所述第一列开口和所述第二列开口分别位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域的两侧，所述第一列开口和所述第二列开口分别包括多个开口，每个所述开口向下穿透所述上包层、所述波导层和所述下包层到达所述空间，所述空间上方位于所述第一列开口与所述第二列开口之间的区域形成悬空结构，所述第一列开口和所述第二列开口中相邻的两个开口之间的区域形成所述悬空结构的侧向支撑结构，第一侧向支撑结构对应于所述超结构光栅中的第一空间周期的第一区域，第二侧向支撑结构对应于所述超结构光栅中的第二空间周期的第二区域，所述第一区域在所述第一空间周期中的相对位置与所述第二区域在所述第二空间周期中的相对位置不同，所述第一侧向支撑结构和所述第二侧向支撑结构为位于所述悬空结构同一侧的多个支撑结构中的任意两个侧向支撑结构。